高斯摩产品分类
PRODUCT CLASSIFICATION

产品详情
查看大图

  • 产品名称：EBARA荏原 涡轮分子泵

  • 产品型号：EMT3400MK
  • 产品厂商：EBARA荏原
  • 产品文档：
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍：
涡轮分子泵是一种高真空泵，利用高速旋转的涡轮叶片与气体分子碰撞，将气体分子从进气口推向排气口，从而实现高真空的获取。
详情介绍：

涡轮分子泵是一种高真空泵，利用高速旋转的涡轮叶片与气体分子碰撞，将气体分子从进气口推向排气口，从而实现高真空的获取。它由德国物理学家贝克（W. Becker）于1958年发明，是现代高真空和超高真空技术中的核心设备之一。涡轮分子泵通常与前置泵（如干式泵或旋片泵）结合使用，以在宽压力范围内实现高效抽气。

涡轮分子泵特点

高抽气速度：涡轮分子泵对轻质气体（如氢气、氦气）和中质气体（如氮气、氧气）具有较高的抽气速度，能够快速建立并维持高真空环境。

结构精密：涡轮分子泵的转子叶片和定子叶片采用精密加工技术，确保高速运转时的稳定性和可靠性。

低振动和低噪音：现代涡轮分子泵采用先进的动平衡技术和减振设计，运行时振动和噪音极低。


涡轮分子泵应用领域

半导体制造：在半导体生产过程中，涡轮分子泵用于光刻、薄膜沉积、离子注入和蚀刻等工艺，提供高洁净度的真空环境。

科学研究：在粒子加速器、核聚变实验、表面物理和材料科学等领域，涡轮分子泵用于实现超高真空环境。

航空航天：用于模拟太空环境，测试航天器部件在真空条件下的性能。

光学镀膜：在光学镜片、滤光片和激光元件的镀膜工艺中，涡轮分子泵提供无污染的真空条件。

分析仪器：用于质谱仪、电子显微镜和同步辐射装置等精密仪器中，确保高真空环境的稳定性。

医疗设备：在放射性同位素生产和医疗成像设备中，涡轮分子泵用于维持高真空环境。


干式真空泵EV-X型系列（1）

EV-X100N

EV-X200N

EV-X300N

干式真空泵EV-S型系列（4）

EV-S20(P/N)

EV-S50(P/N)

EV-S100(P/N)

EV-S200(P/N)

EV-S20

EV-S50

EV-S100

EV-S200


咨询留言
* 请输入您的名字，方便我们和您联系
* 请输入您的电话，方便客服及时解答您的问题
* 请输入您详情地址，方便详细提供当地的市场讯息