产品名称：EBARA荏原 干式真空泵

干式真空泵无需使用油或其他液体作为工作介质，因此在操作过程中不会产生油蒸气或油雾。这一特性不仅避免了油污染问题，还确保了工作环境的洁净度。在半导体制造和医药生产等对洁净度要求极高的行业中，干式真空泵的这一优势尤为重要。无油操作还意味着减少了油处理和更换的频率，降低了维护成本和停机时间。

干式真空泵有多种类型，常见的有爪式干泵、螺杆式干泵和涡旋式干泵等。

爪式干泵通过两个相互啮合的爪形转子实现气体的吸入和排出，具有结构简单、运行平稳的优点。

螺杆式干泵则利用两根相互啮合的螺杆转子进**体压缩，适用于高流量和高真空度的场合。

涡旋式干泵通过两个相互错开的涡旋盘来实现气体的压缩和排出，具有低噪音和高效率的特点。

作为中等负荷工艺专用的干式真空泵，搭载荏原的节能技术，采用面向自 动化工厂制造的优化模块设计，并进一步实现了小型化和节能化。 

干式真空泵通过机械运动直接抽除气体，无需液体密封或润滑。其工作原理主要依赖于转子、叶片或螺杆等机械结构的运动，将气体从进气口吸入并压缩，*终从排气口排出。常见的干式真空泵类型包括螺杆式、爪式、旋片式和涡旋式等。

主要特点

无油污染：干式真空泵在运行过程中不使用油或其他液体介质，避免了油蒸气对工艺环境的污染，特别适合对洁净度要求极高的行业，如半导体和制药。

低维护成本：由于无需定期更换油液或处理废油，干式真空泵的维护成本较低，且运行更加可靠。

环保性能优越：干式真空泵减少了油类废弃物的产生，符合现代工业对环保和可持续发展的要求。

高效节能：干式真空泵通常采用先进的设计和材料，具有较高的抽气效率和能源利用率。

适应性强：能够处理含有粉尘、颗粒或腐蚀性气体的介质，适用范围广泛。

随着工业技术的进步，干式真空泵正朝着更高效率、更低噪音和更智能化的方向发展。例如，采用变频技术优化能耗，通过智能监控系统实现远程控制和故障诊断。此外，新材料的应用也进一步提升了干式真空泵的耐腐蚀性和使用寿命。