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  • 产品名称：LINTEC琳得科 质量流量控制器

  • 产品型号：MC-3452L
  • 产品厂商：LINTEC琳得科
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简单介绍：
质量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一种用于测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。
详情介绍：

质量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一种用于测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。

质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。当气体流入后，部分的气体从分流器导入质流传感器，由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号，反馈调节控制阀的开度，以此进行流量的控制。

典型应用场景

1. 半导体制造：

晶圆刻蚀工艺（Cl₂、CF₄等特种气体控制）

CVD沉积（SiH₄/N₂O流量比控制±1%）

离子注入（BF₃/PH₃**配气）

2. 新能源领域：

燃料电池氢气供应（动态响应<50ms）

锂电材料烧结（N₂/O₂混合控制）

光伏硅烷沉积（流量波动<±0.3%）

3. 制药行业：

生物反应器气体供应（O₂/CO₂/N₂三联控）

冻干机惰性气体保护（露点控制<-70℃）

无菌灌装环境控制（ISO 5级洁净度）

4. 科研实验：

催化反应研究（多路气体并行控制）

质谱仪载气调节（0.1-10mL/min微流量）

环境模拟实验（温湿度联动控制）


温度 压力规格 精度 小F.S. 大F.S. 密封件
5~50℃ 400kPa(D)以下 ±1%S.P. 5SCCM 250SLM Au

技术发展趋势

智能化升级：

集成AI预测性维护功能

5G远程监控与参数优化

微型化发展：

MEMS流量传感器（芯片级集成）

适用于便携式分析仪器

多物理场耦合：

流量-温度-压力协同控制

适应超临界流体等特殊工况

绿色制造：

无铅焊接工艺

可再生材料应用

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