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  • 产品名称：LINTEC琳得科 质量流量控制器

  • 产品型号：MC-5250L
  • 产品厂商：LINTEC琳得科
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简单介绍：
质量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一种用于测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。
详情介绍：

质量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一种用于测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。

质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。当气体流入后，部分的气体从分流器导入质流传感器，由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号，反馈调节控制阀的开度，以此进行流量的控制。


产品核心优势

精准控制能力：

采用自适应PID算法，在10%-100%量程内保持线性度±0.5%

零漂移补偿技术，长期稳定性<±0.5%/年

材料兼容性：

流道材料可选316L不锈钢、哈氏合金、PTFE等

通过NACE MR0175酸性环境认证

智能功能：

自诊断功能（传感器异常、阀体卡滞预警）

多气体/多量程自动切换（*多支持8种气体参数存储）




温度 压力规格 精度 小F.S. 大F.S. 密封件
5~50℃ 400kPa(D)以下 ±1%S.P. 5SCCM 250SLM Au

技术发展趋势

智能化升级：

集成AI预测性维护功能

5G远程监控与参数优化

微型化发展：

MEMS流量传感器（芯片级集成）

适用于便携式分析仪器


关键性能指标

参数标准型号高性能型号

量程范围0.5-5000 SCCM0.1-10000 SLM

控制精度±1.0% FS±0.5% RD

重复性±0.2% FS±0.1% FS

响应时间<1s<300ms

工作压力0.1-0.5MPa真空-10MPa

温度系数±0.05%/℃±0.01%/℃

气体隔膜隔离闽体及驱动装置，极大地减小闭死容积。这些特殊设计，可以增强气体的流通，降低污染物影响，使设备具备高澄换性，保证更长的使用寿命，也更适合于液化气体等优势。


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