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  • 产品名称：LINTEC琳得科 质量流量控制器

  • 产品型号：MC-5100C
  • 产品厂商：LINTEC琳得科
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简单介绍：
质量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一种用于测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。
详情介绍：


质量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一种用于测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。

质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。当气体流入后，部分的气体从分流器导入质流传感器，由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号，反馈调节控制阀的开度，以此进行流量的控制。质流传感器是由缠绕着高温度灵敏系数的阻抗线的上流端(RU)，下流端(Rd)及环境温度补惨式质流传感器(RD)所构成。当气体未流入时。供给 Ru及 Rd的电压是相等的，Ru、Rd与 R 保持一定的温度，当气体流入时。Ru 及 Rd 部分的热量被气体带走，造成温度下降，为维持原本与比的温差，回路会产生电力对Ru及Rd进行加温。

技术架构

传感系统：

热式传感：基于King's Law原理，采用毛细管式或旁路式设计，温度分辨率达0.01℃

压差式传感：基于层流元件和压差传感器组合，适用于大流量范围（0.1-5000SLM）

科里奥利式：直接质量测量，精度可达±0.1%读数

控制系统：

24位Σ-Δ ADC转换器

数字PID算法（响应时间<100ms）

支持Modbus RTU/Profibus DP通讯协议

温度 小压差 大压差 精度 控制范围 F.S. 马克斯 FS 密封
15~35°C 50kPa 300kPa ±1%S.P. 2~100%满量程 10单片机CM 300 升 金

气体隔膜隔离闽体及驱动装置，极大地减小闭死容积。这些特殊设计，可以增强气体的流通，降低污染物影响，使设备具备高澄换性，保证更长的使用寿命，也更适合于液化气体等优势。

关键性能指标

参数标准型号高性能型号

量程范围0.5-5000 SCCM0.1-10000 SLM

控制精度±1.0% FS±0.5% RD

重复性±0.2% FS±0.1% FS

响应时间<1s<300ms

工作压力0.1-0.5MPa真空-10MPa

温度系数±0.05%/℃±0.01%/℃

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3202L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3102L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5470L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5460L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5250L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5200L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5100L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5580C
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3202L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3102L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5470L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5460L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5250L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5200L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5100L
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5580C
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-5470C


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