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  • 产品名称：Osaka Vacuum大阪真空 柔性复合分子泵

  • 产品型号：TG50F
  • 产品厂商：Osaka Vacuum大阪真空
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简单介绍：
大阪真空（Osaka Vacuum）是日本真空技术制造商，其产品广泛应用于 化工、半导体、制药、食品加工、冶金 等行业，提供从 低真空到超高真空（UHV） 的全系列真空泵解决方案。
详情介绍：

灵活的安装姿势
紧凑的尺寸
节能
快速启动
可快速停止排气
能够进入大气层
可以进行串行通信

用
・半导体制造
・电子枪排气、离子源排气
・FPD 制造
・表面处理、表面改性
・各种电子元件的制造
・分析、检测设备
・管材、光学元件的制造
・加速器、放射线设施、聚变研究
・热处理
・研发
* 排放腐蚀性气体时，请选择化学相容性 TG-M 或 TG 系列。


进气法兰 VG65
ISO-R63
CF63 系列
抽速 N2 （升/秒） 51
N2（带保护网） （升/秒） 49
H2 （升/秒） 12
*大压缩比 N2 1,4×10%7
H2 5×102
极限压力 VG/ISO-R/CF （帕） <3×10-6
VG・ISO-R/CF （托） <2.3×10-8
*大气体流速※1 N2 （SCCM） 80
启动时间 （分钟） 1-1.5
停机时间 （分钟） 1-1.5
允许的辅助压力 （Pa / Torr） 1330 / 10
推荐的辅助泵 （升/分钟） ≧50
安装姿势 自由
质量 VG/ISO-R/CF（千克） 4.2 / 6
控制器类型 TC64 系列



高斯摩代理品牌部分示例：

品牌

所属国

主营产品

对应行业

EYE岩崎

日本

UV固化灯管、照度计、紫外线清洗机等

光电/半导体等行业

SEN日森

日本

表面处理装置、光化学反应装置、UV硬化装置、紫外线清洗灯等

食品/养殖/医疗/等行业

CCS晰写速

日本

环形光源、点面光源、条形光源、LED光源机等

大学院校/实验室、自动化设备、人工智能等行业

NPM日脉

日本

运动控制芯片/旋转（直线）步进马达/驱动器/磁轴直线电机/纳米级高精度定位平台模组等

3C半导体行业、智能制造、流体控制、数控机床、电子、汽车、医疗、及院校科研等行业


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