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  • 产品名称：Osaka Vacuum大阪真空 干式真空泵

  • 产品型号：FR060D
  • 产品厂商：Osaka Vacuum大阪真空
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简单介绍：
干式真空泵是一种不使用油或液体来密封废气通道的容积式真空泵。半导体行业、电子元件、平板显示器 （FPD）、制药和食品等行业需要干式真空泵来提高产量和可维护性。干式真空泵按转子结构分类，如多级罗茨型、螺杆式、涡旋式、爪式等。
详情介绍：
■ 在大气压下连续运行 800 L/min 开路时
排气速度

■ 可吸入水蒸气
水蒸气处理能力：500g/hr

■ 缩短排气时间 保持恒定的抽速，直到接近到达终点

■ 风冷型

用
・小型实验排气和负载锁室的抽真空
・吸附和运输
・运输、分析和测量设备，以及加速器的排气
・密封和密封
・电子枪源、离子枪源排气、干燥

・溅射沉积、小炉排气等 PVD设备排气、用于高真空泵的辅助泵，例如 TMP


型 FR060D 系列
抽速 （L/min） *大 1000
开路作中 800
测试极限压力 （Pa） 通常 1.0
气镇时 2.0
连接格式 进气口 千分（NW）40
排气口 千分（NW）40
*大蒸汽吞吐量※1 （克/小时） 500
润滑油量 （mL） 90
功耗 （kW） 在极限压力下 1.1
*大 1.3
权力 电压 （V） 200-240
频率 （Hz） 50/60
相数 单相/三相
允许的电压波动※2 ±10%
电源容量 （kVA） 3.0
电流 （A） 单相的 11.1
三个阶段 6.5
冷却方式 风冷
近似质量 （kg） 75
环境温度 （°C） 5-40



高斯摩代理品牌部分示例：

品牌

所属国

主营产品

对应行业

EYE岩崎

日本

UV固化灯管、照度计、紫外线清洗机等

光电/半导体等行业

SEN日森

日本

表面处理装置、光化学反应装置、UV硬化装置、紫外线清洗灯等

食品/养殖/医疗/等行业

CCS晰写速

日本

环形光源、点面光源、条形光源、LED光源机等

大学院校/实验室、自动化设备、人工智能等行业

NPM日脉

日本

运动控制芯片/旋转（直线）步进马达/驱动器/磁轴直线电机/纳米级高精度定位平台模组等

3C半导体行业、智能制造、流体控制、数控机床、电子、汽车、医疗、及院校科研等行业

REVOX莱宝克斯

日本

LED线光源装置、光纤用光源装置、影像处理设备、大功率线激光、LED频闪控制器

半导体、大学机构等

SERIC索莱克

日本

人工太阳照射灯、光环境模拟器等

半导体行业、医疗行业、汽车行业、电子行业、食品行业等

SONIC索尼克

日本


超声波风速计、隧道风速计、积雪风速计、超声波气体流量计、超声波液体流量计、超声波室内风速计

半导体行业、气象政府部门、金属加工行业、物流港口业、大学高校研究所


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