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  • 产品名称：Osaka Vacuum大阪真空 干式真空泵

  • 产品型号：ER100DC
  • 产品厂商：Osaka Vacuum大阪真空
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简单介绍：
干式真空泵是一种不使用油或液体来密封废气通道的容积式真空泵。半导体行业、电子元件、平板显示器 （FPD）、制药和食品等行业需要干式真空泵来提高产量和可维护性。干式真空泵按转子结构分类，如多级罗茨型、螺杆式、涡旋式、爪式等。
详情介绍：
■ 在节能、体积小、轻量化方面是同类产品中*好的干式真空泵之一。
极限压力下的功耗：400W 占地面积
：0.11m2
重量：60 kg

■ 根据用途提供产品规格。
ER100D：非常适合轻负载排气和清洁工艺
ER100DC：使用具有高耐腐蚀性的材料来承受腐蚀性气体排放

用
・清洁排气
・溅射设备、粗拉
・TMP等高真空泵的辅助泵
・负载锁室、运输室排气
・小型实验设备排气、吸附和测量系统
・分析和测量设备排气、小型炉排气
・电子枪源、离子枪源排气


型 ER100D/ER100DC （耐腐蚀型）
抽速 （L/min） 1670
测试极限压力 （Pa） 5.0
极限压力下的功耗 （W） 400
权力 电压 （V） 200-220
频率 （Hz） 50/60
相数 三个阶段
电源容量 （kVA） 3.2
N2 吹扫气体流速 （Pa·m3/s） 17-20
冷却方式 水冷式
冷却水量　（L/min） 1.5-3.0
冷却水温度 （°C） *多 30 个
重量 （kg） 60


高斯摩代理品牌部分示例：

品牌

所属国

主营产品

对应行业

EYE岩崎

日本

UV固化灯管、照度计、紫外线清洗机等

光电/半导体等行业

SEN日森

日本

表面处理装置、光化学反应装置、UV硬化装置、紫外线清洗灯等

食品/养殖/医疗/等行业

CCS晰写速

日本

环形光源、点面光源、条形光源、LED光源机等

大学院校/实验室、自动化设备、人工智能等行业

NPM日脉

日本

运动控制芯片/旋转（直线）步进马达/驱动器/磁轴直线电机/纳米级高精度定位平台模组等

3C半导体行业、智能制造、流体控制、数控机床、电子、汽车、医疗、及院校科研等行业

REVOX莱宝克斯

日本

LED线光源装置、光纤用光源装置、影像处理设备、大功率线激光、LED频闪控制器

半导体、大学机构等

SERIC索莱克

日本

人工太阳照射灯、光环境模拟器等

半导体行业、医疗行业、汽车行业、电子行业、食品行业等

SONIC索尼克

日本


超声波风速计、隧道风速计、积雪风速计、超声波气体流量计、超声波液体流量计、超声波室内风速计

半导体行业、气象政府部门、金属加工行业、物流港口业、大学高校研究所


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