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真空计(Vacuum Gauge),又称真空压力计或真空规,是一种用于测量真空系统内气体压力的仪器。其工作原理基于不同压力范围内气体分子的物理特性变化,通过传感器将压力信号转换为电信号,*终以数字或模拟方式显示真空度。真空计广泛应用于科研、工业制造、半导体、航空航天等领域,是真空技术的关键测量设备。
特征
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可以选择测量范围,并在 Hi 范围和 Lo 范围之间切换。
高频范围 : 0.10~20.00kPa Lo 范围 : 0.1~133.3kPa -
传感器是可互换的,只有传感器可以更换。
-
模拟输出 4-20mA 是满量程设置的标准设备。
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高精度 ±0.25%FS±1dig
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由于传感器的气体接触部分是 SUS,因此具有优异的耐腐蚀性。
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它是一个易于阅读的数字 LED 显示屏。
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配备通信输出 RS-232C。
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它配备了 4 个触点输出。
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测量范围 高频范围 0.10 ~ 20.00kPa (显示范围 0.00 ~ 24.00kPa) 低
范围 0.1 ~ 133.3kPa (显示范围 0.00 ~ 145.00kPa)显示分辨率 0.01 百帕 模拟输出 4-20mA 满量程值可配置 通信输出 切线RS-232C 触点输出 4 点输出,可配置触点作,60V 2A 传感器电缆 2m LAN 电缆 压力端口 NW16 SUS304 电源 DC12 ~ 24V AC 适配器 AC100 ~ 240V 尺寸和重量 指示器 96(W)×96(H)×34(D)mm) 250g传感器 40(W)×40(H)×100(D)mm)
230g标准配件 显示器、传感器 (NW16)、传感器电缆(LAN 电缆)2m、面板安装支架、
台灯、2 个 D-sub 连接器(9Pin、15Pin)、AC 适配器(电缆:1.8m)
用
该真空计可广泛用于各个领域的质量控制、真空干燥和真空浸渍。
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真空干燥:树脂的消泡、药品(***、人工肝脏)和食品的低温干燥、电子元件的真空测量等。
-
真空浸渍:从发泡材料和海绵材料中去除空气,并浸渍绝缘材料、防腐剂、固化剂等的真空度控制。
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真空储存:监测在氧化气氛中储存氧化材料、食品和药品的压力(真空和惰性气体置换)
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移送装置(工件的吸附确认):通过在工件的吸附和运输系统中组合真空泵和真空传感器,可以确认吸附。
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应用于简单的真空常数设
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1. 真空计的核心组成
传感器:根据测量原理不同,可分为机械式、热传导式、电离式等。
信号处理电路:放大和转换传感器信号,提高测量精度。
显示/输出单元:数字显示、模拟指针或数据接口(RS485、USB等)。
校准系统(部分**型号):确保长期测量准确性。
2. 真空计的分类
根据不同测量原理和适用压力范围,真空计主要分为以下几类:
类型 测量范围(Pa) 工作原理 典型应用
机械式真空计 10⁵ ~ 10⁻¹ 利用弹性元件(如波登管、薄膜)变形测量压力 粗真空测量(如真空包装、空调系统)
热传导真空计 10³ ~ 10⁻³ 基于气体热导率随压力变化的特性 中低真空(如真空炉、镀膜设备)
电离真空计 10⁻¹ ~ 10⁻⁷ 通过电离气体分子测量离子电流 高真空(如电子显微镜、半导体制造)
电容式真空计 10⁵ ~ 10⁻⁴ 利用电容变化测量薄膜位移 高精度真空控制(如科研实验)
复合真空计 10⁵ ~ 10⁻⁷ 结合多种传感器,覆盖宽量程 全范围真空监测(如航天测试)
SATOVAC佐藤 潘宁真空计 CR-1N
SATOVAC佐藤 冷阴极离子计 CR-D8A
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