产品名称：SATOVAC佐藤 冷阴极离子计

它标配了放电监控功能，不会折断灯丝，并在高真空范围内实现可靠的放电。 钥匙作很容易作，压力状态以数字和条形图显示，并且它具有安心功能，可让您通过各种消息（例如停止排放时）检查运行状态。

真空计（Vacuum Gauge），又称真空压力计或真空规，是一种用于测量真空系统内气体压力的仪器。其工作原理基于不同压力范围内气体分子的物理特性变化，通过传感器将压力信号转换为电信号，*终以数字或模拟方式显示真空度。真空计广泛应用于科研、工业制造、半导体、航空航天等领域，是真空技术的关键测量设备。

真空计的特点

多传感器技术：复合真空计可无缝切换不同传感器，实现全量程测量。

环境适应性：

工业级真空计具备防震、防电磁干扰设计。

超高真空计需避免油蒸气污染，采用无油测量技术。

校准与维护：

定期校准（如通过标准漏孔或比对法）确保长期准确性。

部分电离真空计需预热以稳定发射电流。

定制化设计：

针对特殊气体（如氢气、氦气）优化传感器灵敏度。

防爆型真空计用于易燃易爆环境。

1. 1. 真空计的核心组成
   传感器：根据测量原理不同，可分为机械式、热传导式、电离式等。
   信号处理电路：放大和转换传感器信号，提高测量精度。
   显示/输出单元：数字显示、模拟指针或数据接口（RS485、USB等）。
   校准系统（部分**型号）：确保长期测量准确性。
   2. 真空计的分类
   根据不同测量原理和适用压力范围，真空计主要分为以下几类：
   类型 测量范围（Pa） 工作原理 典型应用
   机械式真空计 10⁵ ~ 10⁻¹ 利用弹性元件（如波登管、薄膜）变形测量压力 粗真空测量（如真空包装、空调系统）
   热传导真空计 10³ ~ 10⁻³ 基于气体热导率随压力变化的特性 中低真空（如真空炉、镀膜设备）
   电离真空计 10⁻¹ ~ 10⁻⁷ 通过电离气体分子测量离子电流 高真空（如电子显微镜、半导体制造）
   电容式真空计 10⁵ ~ 10⁻⁴ 利用电容变化测量薄膜位移 高精度真空控制（如科研实验）
   复合真空计 10⁵ ~ 10⁻⁷ 结合多种传感器，覆盖宽量程 全范围真空监测（如航天测试）