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产品详情
  • 产品名称:SATOVAC佐藤 皮拉尼真空计

  • 产品型号:PG-3FM
  • 产品厂商:SATOVAC佐藤
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简单介绍:
真空计(Vacuum Gauge),又称真空压力计或真空规,是一种用于测量真空系统内气体压力的仪器。
详情介绍:


这是一款超薄型皮拉尼真空计,它缩小了其功能范围,将易于集成到真空系统等的控制面板等上放在首位,实现了小型化和轻量化。真空计(Vacuum Gauge),又称真空压力计或真空规,是一种用于测量真空系统内气体压力的仪器。其工作原理基于不同压力范围内气体分子的物理特性变化,通过传感器将压力信号转换为电信号,*终以数字或模拟方式显示真空度。真空计广泛应用于科研、工业制造、半导体、航空航天等领域,是真空技术的关键测量设备。

真空计的优点

宽量程覆盖:从大气压(10⁵ Pa)到超高真空(10⁻⁷ Pa),满足不同应用需求。

高精度测量:电容式和电离式真空计的精度可达±1%以内。

快速响应:实时监测压力变化,适用于动态真空系统。

耐腐蚀与抗污染:部分型号采用陶瓷或特殊涂层,适用于腐蚀性气体环境。

智能化功能:

自动量程切换

数据记录与远程传输(支持Modbus、以太网等协议)

故障自诊断与报警

测量范围 2×103~2×10-1Pa (1 范围)
压力单位
记录器输出 满量程 10 mV
电源电压 AC100V±10% 50Hz/60Hz 5VA
尺寸 宽100×深104×高100 毫米
质量 数量 1.0 千克
统治者 PW-2 φ15 仪表端口安装


  1. 1. 真空计的核心组成
    传感器:根据测量原理不同,可分为机械式、热传导式、电离式等。
    信号处理电路:放大和转换传感器信号,提高测量精度。
    显示/输出单元:数字显示、模拟指针或数据接口(RS485、USB等)。
    校准系统(部分**型号):确保长期测量准确性。
    2. 真空计的分类
    根据不同测量原理和适用压力范围,真空计主要分为以下几类:
    类型 测量范围(Pa) 工作原理 典型应用
    机械式真空计 10⁵ ~ 10⁻¹ 利用弹性元件(如波登管、薄膜)变形测量压力 粗真空测量(如真空包装、空调系统)
    热传导真空计 10³ ~ 10⁻³ 基于气体热导率随压力变化的特性 中低真空(如真空炉、镀膜设备)
    电离真空计 10⁻¹ ~ 10⁻⁷ 通过电离气体分子测量离子电流 高真空(如电子显微镜、半导体制造)
    电容式真空计 10⁵ ~ 10⁻⁴ 利用电容变化测量薄膜位移 高精度真空控制(如科研实验)
    复合真空计 10⁵ ~ 10⁻⁷ 结合多种传感器,覆盖宽量程 全范围真空监测(如航天测试)

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