产品名称：SATOVAC佐藤 皮拉尼真空计

真空计（Vacuum Gauge），又称真空压力计或真空规，是一种用于测量真空系统内气体压力的仪器。其工作原理基于不同压力范围内气体分子的物理特性变化，通过传感器将压力信号转换为电信号，*终以数字或模拟方式显示真空度。真空计广泛应用于科研、工业制造、半导体、航空航天等领域，是真空技术的关键测量设备。

它是一种使用独特的皮拉尼球体覆盖低真空范围的皮拉尼真空计，测量范围为 0.14Pa~2.6kPa。 由于采用固态电路，即使在电源波动 （90V~110V） 的情况下也能表现出极其稳定的运行，并提供可靠的测量值。

真空计的应用领域

真空计在多个行业的关键环节中发挥着重要作用：

1. 半导体与电子制造

用于晶圆加工、薄膜沉积、离子注入等工艺，确保高真空环境（10⁻⁴ ~ 10⁻⁷ Pa）的稳定性。

在真空封装（如MEMS传感器）中监测残余气体压力。

2. 工业制造与材料处理

真空炉：在金属热处理、烧结过程中控制真空度，防止氧化。

真空镀膜：监测PVD（物**相沉积）、CVD（化学气相沉积）设备的真空环境。

3. 科研与实验室

高能物理实验（如粒子加速器）需要超高真空（<10⁻⁷ Pa）环境。

空间模拟舱：模拟太空环境，测试航天器部件的真空适应性。

4. 医疗与生物技术

冷冻电镜（Cryo-EM）需要高真空环境以保持样本稳定性。

真空**设备中监测压力，确保**效果。

1. 1. 真空计的核心组成
   传感器：根据测量原理不同，可分为机械式、热传导式、电离式等。
   信号处理电路：放大和转换传感器信号，提高测量精度。
   显示/输出单元：数字显示、模拟指针或数据接口（RS485、USB等）。
   校准系统（部分**型号）：确保长期测量准确性。
   2. 真空计的分类
   根据不同测量原理和适用压力范围，真空计主要分为以下几类：
   类型 测量范围（Pa） 工作原理 典型应用
   机械式真空计 10⁵ ~ 10⁻¹ 利用弹性元件（如波登管、薄膜）变形测量压力 粗真空测量（如真空包装、空调系统）
   热传导真空计 10³ ~ 10⁻³ 基于气体热导率随压力变化的特性 中低真空（如真空炉、镀膜设备）
   电离真空计 10⁻¹ ~ 10⁻⁷ 通过电离气体分子测量离子电流 高真空（如电子显微镜、半导体制造）
   电容式真空计 10⁵ ~ 10⁻⁴ 利用电容变化测量薄膜位移 高精度真空控制（如科研实验）
   复合真空计 10⁵ ~ 10⁻⁷ 结合多种传感器，覆盖宽量程 全范围真空监测（如航天测试）