产品名称：MISAKA米卡萨 对准机

掩模对准器
Opticoat 涂层

■ 手动型接触式掩模对准器。
■ 可用于尺寸不规则的基板、硅、玻璃、化合物、薄膜等各种材料。
■ 根据您的预算和应用，我们提供三种类型的曝光
光源：准直器型、多镜型和积分器型。
■ 我们有支持*大 5×5mm~100×100mm 和 φ6 英寸的基板的型号。
■ 更换面罩架和标本台很容易，使其成为研发应用的理想选择。
■ 对准范围物镜有三种类型
：4×、10× 和 20×具体取决于高对准和薄膜厚度等应用。

*大板尺寸	φ3 英寸	显微分辨率	使用 1× 物镜时：3.7μm
*大基板厚度	2 毫米
*大蒙版尺寸	4×4 英寸	对准 间隙测量功能	无法安装
紫外线灯房	准直器类型
光	>8mW/c㎡（405nm）	纵器 移动范围	X・Y±5mm 精细震动 1/8mm1 旋转 θ： 70° 震颤±7° Z ： 3mm 精细震颤 0.16mm
照度均匀性	<±8.5%
曝光光源	紫外线灯 250W
		横向移动舞台 移动范围	无法安装
曝光波长	宽带（G、H 和 I 线）
曝光定时器	0~999.9 秒 定时器设置类型	气体力学	无
		氮	附加硬接点时： 0.5MPa
UV 灯 劣化校正功能	无法安装	真空	掩模和基材吸附 -0.08 MPa
如何联系我们	软触点 （硬触点 /可选）	隔振台	选择
		权力	AC100~110V 50/60Hz 20A
对齐范围	双目体视显微镜 （变焦）	尺寸 （mm）	800 瓦×730 ×500 深
		重量	100 公斤

MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、旋转涂布机
MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200(密封)、MS-B300(密封)显影刻蚀装置

代理品牌：CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、NPM日脉  、SUGIYAMA杉山
NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田 
优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西、 HAYASHI 林时计
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野
IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣
HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基
SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等
优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计，恒流泵、采样泵、PH计、水分计、
地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪，接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置