产品名称：MISAKA米卡萨 显影和蚀刻设备

掩模对准器
Opticoat 涂层

■ 手动型接触式掩模对准器。
■ 可用于尺寸不规则的基板、硅、玻璃、化合物、薄膜等各种材料。
■ 根据您的预算和应用，我们提供三种类型的曝光
光源：准直器型、多镜型和积分器型。
■ 我们有支持*大 5×5mm~100×100mm 和 φ6 英寸的基板的型号。
■ 更换面罩架和标本台很容易，使其成为研发应用的理想选择。
■ 对准范围物镜有三种类型
：4×、10× 和 20×具体取决于高对准和薄膜厚度等应用。

室	聚氯乙烯	转速	0~3,000转/分
基板尺寸	φ1“~φ6” （150×150mm）	联 锁	真空吸附确认传感器 加工腔盖联锁 喷嘴移动超限 限制器
化学泵送	内置泵使用
化学品排放	喷雾排放 （摆动喷嘴型）	权力	交流 100V 4A
		尺寸 （mm） 当门打开时	550W×440H×400D 740H
步数	96 步 跳拷贝功能
程序模式	10 模式	重量	33 千克
工艺（标准）	显影剂：1 行， 漂洗：1 行， 背洗：1 个系统	关键选项	化学温度管理系统 （加压法） 各种基板支架 安装工作台
使用的化学品	酸基蚀刻剂

MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、旋转涂布机
MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200(密封)、MS-B300(密封)显影刻蚀装置

代理品牌：CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、NPM日脉  、SUGIYAMA杉山
NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田 
优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西、 HAYASHI 林时计
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野
IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣
HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基
SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等
优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计，恒流泵、采样泵、PH计、水分计、
地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪，接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置