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产品详情
  • 产品名称:YAMAMOTO-MS山本镀金 晶圆电镀设备

  • 产品型号:A-52-ST4-P01A
  • 产品厂商:YAMAMOTO-MS山本镀金
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YAMAMOTO-MS山本镀金  A-52-ST4-P01A   晶圆电镀设备

YAMAMOTO-MS山本镀金  A-52-ST4-P01A    晶圆电镀设备


该水族箱适合为2~12英寸硅晶圆进行电镀。 它是一种通过从底部产生温和对流而溢流的结构,同时不断过滤。
单面镀层
有两种尺寸:丙烯酸和PP。 关于双面电镀,请参阅A-52-STD晶圆双面电镀设备。

规格

产品编号

晶圆尺寸

尺寸(内尺寸)毫米

汇容容量

材料

耐热温度

A-52-ST2-P01A

2英寸

D100×W100×H100

1.5

丙烯酸

65°C

A-52-ST4-P01A

4英寸

D140×W140×H140

4.0

丙烯酸

65°C

A-52-ST6-P01BW

6英寸

D210×W210×H210

13

丙烯酸

65°C

A-52-ST8-P01BW

8英寸

D280×W280×H280

28

丙烯酸

65°C

A-52-ST12-P01A

12英寸

D230×W386×H420

47

丙烯酸

65°C

A-52-ST2-P01A-1

2英寸

D100×W100×H100

1.5

PP

80°C

A-52-ST4-P01A-1

4英寸

D140×W140×H140

4.0

PP

80°C

A-52-ST6-P01BW1

6英寸

D210×W210×H210

13

PP

80°C

A-52-ST8-P01BW1

8英寸

D280×W280×H280

28

PP

80°C

A-52-ST12-P01A1

12英寸

D230×W386×H420

47

PP

80°C

 


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