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  • 产品名称:FUJIKIN富士金 手动阀门

  • 产品型号:FP(R)-NSD-71-6.35
  • 产品厂商:FUJIKIN富士金
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FUJIKIN富士金    FP(R)-NSD-71-6.35  手动阀门

FUJIKIN富士金    FP(R)-NSD-71-6.35  手动阀门

NEW MEGA-MINILA是一种用于各种半导体制造装置和设备等的超高纯度流体以及可燃性和有毒流体管线的气体操作隔膜阀。
通过直接隔膜结构,实现了高气密性、高耐久性、紧凑型、无颗粒物、无死区的行业标准阀门。
在保持原有MEGA-MINILA性能的同时,实现了紧凑化设计。
通过执行器盖上部的区分,可以轻
松识别正常开启和正常关闭。
通过简化执行器部分,实现了紧凑化。
**的耐久性,超过400万次循环。
采用35型小型执行器,因此体积小巧。
良好的置换特性(UJR6.35MALE TYPE,总容积0.84cc
所有接气部均按标准进行EP处理。
也可选配进行UP处理。
高耐久性镍钴合金制隔膜
片材材质标准采用PCTFE,但PI和PA也可选配。

材料

不锈钢(SUS316L)

清洁度

完全无油

*大工作压力(MPa)

1

*高工作温度(°C)

80

*低工作温度(°C)

-10

连接格式

金属垫圈

特色

特殊材料 气体、真空

 



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