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  • 产品名称：ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵

  • 产品型号：HR60
  • 产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：
详情介绍：

ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 HR60

通过在高温区均质化泵体，可以将CVD、蚀刻等产生的升华废气材料排出为气态

特色
高温区均质化
可将CVD、蚀刻等产生的升华废气物质以气态排放。
“模型:UR”可以比“模型:HR”加热得更深。
由于密封结构和氦气密封罐装发动机，极其**。
在1000毫秒内实施瞬时停止措施
**的耐腐蚀性主要部件采用了具有高表面硬度和优异耐腐蚀性的特殊表面处理作为标准。腐蚀性减少排气过程中泵内的腐蚀。
通信功能
可以读取泵运行状态和警告/报警历史数据。通过专用软件和计算机通信实现集中监控。
用途

  • CVD设备
  • 蚀刻设备
  • 灰烬处理设备
  • ALD、ALH等。
  • ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 HR60
规格
模型 HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200
所用泵 DRP HR60 HR90 HR60 HR90 HR90
MPB - - PRC-003A PRC-006A PRC-012A
*大
泵送速度 		50Hz m3/h
（L/min） 		62(1030) 112(1860) 359(5,980) 653(10,900) 1,012(16,900)
60Hz m3/h
（L/min） 		80(1333) 126(2100) 365(6,080) 701(11,700) 1,051(17,500)
达到压力 爸 5 0.67
*大入口压力
（入口压力） 		大气压 *1
*大排气压力
（排放压力） 		爸 1~大气压
进气口（CE规范） VG50（KF50） VG80（KF50） VG80（KF80） VG100（KF100）
排气口 KF40
质量 KG 180 245 275 370 420
电力 三相 真空（Hz） 200(50/60), 220(60)
现值 常规时间 A 7.1
（200伏时） 		11.2
（200伏） 		7.8
（200伏时） 		12.9
（200伏） 		15.4
（200伏时）
*大值 A 7.3
（200伏时） 		11.8
（200伏时） 		8.1
（200伏时） 		13.8
（200伏时） 		18.9
（200伏时）
冷却水 暂时压力 MPa 0.1~0.3
冷却水进出口压力差 MPa >0.1
冷却水流量 L/min >5.0
净化气体 初级压力 MPa 0.1~0.5
次级压力 MPa 0.05~0.1
N2 清洗行动 轴心国 SLM 5
加斯·巴拉 SLM 0~45

*1 HR300、HR600和HR1200不应在200Pa或更高的入口压力下连续运行。

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