产品名称：FLUORO福乐 真空吸盘5英寸

FLUORO福乐 真空吸盘5英寸 C003-Y-90-CP

FLUORO福乐 真空吸盘5英寸 C003-Y-90-CP

一、产品规格
型号：C003-Y-90-CP
适配尺寸：5 英寸（125mm）半导体硅晶圆
接头类型：Fixed（固定式接头）
阀门类型：NO+SW（可控常开型，带手动释放开关 + 锁定功能）
整体长度：234mmFluoro Mechanic
重量：约 24gFluoro Mechanic
笔身材质：导电尼龙（含碳纤维增强，型号 C003-Y）
吸头材质：导电 PEEK（90-CP，Y 型结构）
吸头尺寸：T=2.7mm、W=16mm、L1=26mm、L2=82mm
动力方式：外接真空泵（适配福乐 FV 系列无油真空泵）
电阻率：10⁶–10⁸Ω，稳定抗静电
结构特点：笔身与吸头可拆分，便于维护更换；开关带锁定，可固定吸附状态

二、产品特点
Y 型均衡吸附：90-CP 吸头为 Y 型三爪结构，5 英寸晶圆接触面均匀，吸附力分布平衡，有效减少超薄晶圆变形、崩边风险，适配薄型 / 易碎晶圆。
固定式高稳定：采用固定式接头，无旋转松动，垂直下压力传导更直接，重复性作业定位精准，适配自动化产线与固定工位，长期使用精度稳定。
NO+SW 可控带锁：可控常开阀门（NO+SW），默认通气吸附，按下顶部开关释放；开关带锁定功能，可固定吸附状态，无需持续按压，适配长时间吸附 / 高频取放工序。
全链路抗静电：笔身、接头与吸头均为导电材质，全程导走静电，杜绝静电放电损伤晶圆、芯片与光学元件，满足 ESD 防护与半导体行业防静电标准。
洁净无尘适配：表面光滑无毛刺、无金属外露，不易产尘，符合半导体高等级洁净室（Class 100/ISO 5）标准，避免微粒污染与工件刮擦。
轻量化耐用易维护：24g 轻量化机身，长时间手持不易疲劳；导电 PEEK 吸头耐磨、耐化学腐蚀、耐高温，适配酸碱与溶剂环境；可拆分设计便于清洁、更换吸头，降低维护成本。

三、产品用途
专用于5 英寸半导体硅晶圆、超薄晶圆、精密芯片、LED 晶片、光学镜片、微型电子元件的真空吸附、搬运、取放与精准定位；特别适合对吸附稳定性、防静电等级、长时间吸附锁定要求高的精密工序，避免工件划伤、污染与静电损坏。

四、应用场景
半导体晶圆厂：5 英寸硅片切割、研磨、抛光、检测、镀膜、刻蚀等全流程工序搬运，尤其适配超薄 / 易碎晶圆与长时间吸附工位。
电子制造：精密芯片、LED 晶片、微型传感器的无尘组装、测试与转移，适配高频次、长时间取放产线。
光学行业：5 英寸光学镜片、玻璃基板、滤光片的清洁、装配与转运，保护光学面不受损伤。
科研实验室：微电子样品、高精度器件、生物芯片的转移与操作，适配高洁净度实验环境。
特殊工艺场景：需要固定吸附状态、长时间保持真空的工位（如检测、静置），依靠锁定开关提升操作效率与稳定性