产品名称：FLUORO福乐 真空吸盘8寸

FLUORO福乐 真空吸盘8寸 C003-Y-99-CP

FLUORO福乐 真空吸盘8寸 C003-Y-99-CP

一、产品规格

本款产品型号为 C003-Y-99-CP，适配 12 英寸即 300mm 规格半导体硅晶圆，可使用标准片、厚片以及重型晶圆。产品采用固定式接头，无旋转结构，阀门为 NO+SW 常开带锁定类型。笔身采用导电尼龙材质，吸头为导电 PEEK 材质，配备 99-CP 加宽 Y 型三爪。产品电阻率稳定在 10⁶–10⁸Ω，符合防静电标准，整体长度约 247mm，重量约 27g。使用时需外接福乐 FV 系列无油真空泵提供负压，设备为模块化分体设计，笔身与吸头可拆分，方便日常清洁、检修和配件更换。

二、产品特点

产品搭载 NO+SW 常开带锁定阀门，接通真空后自动产生吸附力，按下开关即可锁定真空状态，松手依旧保持吸附效果，无需持续按压，再次按键便可解锁释放工件，适用于工件静置、检测等需要长时间吸附的工况。99-CP 加宽 Y 型三爪接触面积大，三点对称支撑让晶圆受力均匀，有效降低压强，避免大尺寸晶圆出现变形、崩边、隐裂等损伤。固定式接头结构刚性强、定位精准，运行稳定，是直线搬运作业的理想选择。整机各部件均为导电材质，构成完整导电回路，可快速释放静电，防止晶圆电路被击穿，完全满足半导体行业 ESD 防护要求。产品表面光滑无毛刺，无外露金属零件，作业时不会产生粉尘，符合 Class 100/ISO 5 高等级洁净室使用要求。导电 PEEK 吸头耐酸碱、耐有机溶剂、耐高温，可使用异丙醇等试剂清洁，使用寿命长久。

三、产品用途

本产品主要用于 12 英寸半导体硅晶圆、大尺寸 LED 蓝宝石基板、重型光学玻璃基板等精密器件的真空吸附、长效固定、直线取放与转运工作，尤其适用于需要长时间吸附工件、对承重与稳定性要求较高的精密加工、检测工序。

四、应用场景

在半导体领域，可用于 12 英寸晶圆流水线上下料、工位间直线转运、成品静置检测与精密对位。在光电子和精密电子行业，可完成大尺寸 LED 外延片、光学滤光片、陶瓷基板的无尘组装、长时间测试与转运。同时也可用于科研实验室，在高洁净环境中完成大尺寸高精度器件的固定、观测与转运作业。