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产品详情
简单介绍:
F002-Y-15-PK 为福乐十二寸半导体晶圆专用真空吸具,笔身采用聚四氟乙烯,吸头选用 PEEK 材质。具备优异耐腐蚀性与机械强度,常开阀设计,松手吸附、按压释放,固定接头适配洁净室,适合长距离晶圆转运。
详情介绍:
FLUORO福乐 真空吸盘12寸 F002-Y-15-PK
FLUORO福乐 真空吸盘12寸 F002-Y-15-PK
1. 核心定位与型号含义
型号:F002-Y-15-PK品牌:福乐
系列:耐腐蚀专用系列
用途:十二英寸半导体硅晶圆的真空吸附与搬运作业
型号解析:整体为耐腐蚀规格,采用常开阀结构,搭配固定接头,专门适配十二寸晶圆,吸头采用耐腐低尘材质。
2. 核心材质与洁净特性
主体采用聚四氟乙烯材质,整体无金属部件,耐各类腐蚀介质,不会产生金属离子污染吸头经过镜面加工处理,不易产生微粒,具备防静电特性,可有效保护晶圆表面
阀体内部做抛光处理,减少粉尘堆积,符合半导体行业洁净使用标准。
3. 关键规格参数
适配物件:十二英寸晶圆阀门类型:常开结构,常态保持吸附,按压按键即可释放
接头形式:固定直接头
工作温度:5 至 40 摄氏度
整体重量:约四十克,握持轻便,适合长时间操作
适配管路:通用真空管路
洁净等级:满足高标准洁净室使用要求
4. 结构设计与操作逻辑
全防腐构造,可在各类化学药液环境中使用,杜绝污染工件常开式阀门设计,适配连续化搬运作业,降低工件掉落风险
加长杆体设计,取放晶圆时可避免磕碰损伤
吸头支持更换,可根据工况选用不同材质配件。
5. 性能优势
防腐能力优异,可在各类酸碱药液、化工溶剂环境中长期使用用料洁净,运行过程产尘少、无物质析出,保障产品良率
吸附效果稳定,受力均匀,翘曲或薄型晶圆也可稳妥抓取
结构耐用,部件不易磨损老化,日常仅需定期清洁吸头即可。
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