产品名称：MIYUKI美幸辉 控制蝶阀

MIYUKI美幸辉 控制蝶阀 BAR-N100 BAR-N100

MIYUKI美幸辉 控制蝶阀 BAR-N100 BAR-N100

规格参数

BAR-N100 公称通径 100A，出厂标配 JIS 法兰，可按需更换 ISO、KF 法兰规格，适配各类超高真空主管对接。工作压力下限 10⁻⁶Pa 超高真空，上限常压，满足大中型超高真空腔体配套使用。整机 DC24V 供电，阀体短时耐温 150℃，驱动电机环境温度≤40℃。阀体选用 SUS304 不锈钢，标配氟橡胶密封，腐蚀工况可替换全氟醚密封，阀门 0°～90° 无级开度可调。

结构特性

采用电机直连阀板架构，取消齿轮结构，彻底杜绝传动背隙，反复调节阀位一致性良好。N 系列优化内腔流线结构，减少积气死角，内部无摩擦金属配件，运行粉尘析出极低。内腔镜面抛光并做除气预处理，有效降低基材放气量，阀体一体成型焊缝少，可水平、竖直、倾斜任意角度安装。

密封与运行性能

阀板密封面精密研磨，转轴密封按超高真空工况升级，整体漏率优于普通规格蝶阀，长时间极限真空保压密封衰减小。小开度调控顺滑，微小阀位变化即可微调管路流导，实现腔体精细稳压。直驱运行震动小、噪音低，长期连续调节无阀位漂移，稳定维持腔体极限真空参数。

配套与安装

可搭配 MS-VP、MG-mini485、MGCS-11 三款控制器，依托模拟量或 RS485 通讯远程控阀、自动稳压。标准法兰配合密封圈、定心环、卡箍即可锁接管路，现场无需焊接。拆装便捷，检修不用大面积拆分主管，减少腔体破真空后重新抽气耗时。

适用范围

多用于大中型超高真空设备，涵盖半导体量产镀膜腔体、大面积光学超高真空镀膜线、**科研试验腔体、精密仪器主排气管路。负责超高真空管路流导调节与腔体稳压，在低放气、高洁净、10⁻⁶Pa 极限真空工况长期运行，适配高纯惰性工艺气体。