产品名称：MIYUKI美幸辉 气动蝶阀

MIYUKI美幸辉 气动蝶阀 BH-I50 BH-I50

MIYUKI美幸辉 气动蝶阀 BH-I50 BH-I50

（一）规格参数

公称通径：50A（DN50），标配 JIS 法兰，兼容 ISO、KF (NW)、CF 四种法兰规格
真空耐压：常压 1×10⁵Pa～高真空 1×10⁻⁵Pa；阀座泄漏≤1×10⁻⁹Pa・m³/s，阀杆轴封≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s
气源工况：0.4~0.6MPa 干燥洁净压缩空气；过流件 SUS304 不锈钢，标配 FKM 氟橡胶密封，腐蚀工况可换全氟醚密封，介质长期耐温≤150℃
驱动配置：紧凑型两级气动气缸，0~45° 开度机械限位可调 + 90° 全开双档位，可选装阀位行程反馈开关，远程监控阀位状态

（二）结构性能

阀缸一体化紧凑结构，内部传动件精简，减少摩擦产尘，适配高纯工艺真空环境；两级增压气缸压差工况启闭力矩充足，行程末端密闭空气形成气垫缓冲，抑制启闭冲击与震动噪音。
中线弹性全包裹密封，全关双向承压无渗漏；无流向、安装方位约束，卧式、立式、斜装均可。阀体流道内壁镜面研磨，导通率高、导电稳定；整阀恒温无尘车间装配气密全检，无装配杂质残留，兼顾工艺精密节流与腔体快速破真空两种工况。

（三）适用行业

半导体：中小型镀膜机、晶圆刻蚀设备腔体支路阀、工艺腔体微调进气阀；
锂电：中试小型烧结炉、电芯脱泡真空支管、小样烘干炉真空切断；
精细化工：中小型负压反应釜、腐蚀性高纯气体输送小管路；
科研设备：实验室真空炉、真空镀膜样机、检漏仪配套真空阀；
通用真空：真空泵组旁通阀、中小型真空箱进气泄压阀。