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产品详情
简单介绍:
BJ4-J200 为美幸辉 BJ4 系列超大口径伺服真空蝶阀,一体化伺服减速直驱结构,集成管路切断 + 全量程精密流量调节,单侧常压、单侧高真空带巨大压差可直接启阀,多用于大型真空产线总管大流量进气稳压、闭环压力精准调控。
详情介绍:
MIYUKI美幸辉 电动蝶阀 BJ4-J200 BJ4-J200
MIYUKI美幸辉 电动蝶阀 BJ4-J200 BJ4-J200
规格参数
连接口径:DN200(200A),JIS10K 日标法兰,大型日系真空炉标配主管规格适用真空区间:常压 1×10⁵Pa~高真空 1×10⁻⁵Pa 全工况通用
泄漏指标:阀体内腔漏率≤1×10⁻⁹Pa・m³/s,阀杆轴封漏率≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s,高真空保压稳定
过流材质:阀体、蝶板全 SUS304 不锈钢,内腔镜面低放气抛光,无尘车间组装出厂
密封耐温:标配 FKM 氟橡胶(-20℃~120℃);选配 FFKM 全氟醚密封,短时耐温 150℃适配高温工艺
电控配置:原装三菱 MR-J4 伺服控制系统,支持 4~20mA/0~10V 模拟量闭环控制,0~90° 任意阀位自锁、变速启闭;阀体侧边标配可视开度刻度盘,现场直观读数
结构性能
无间隙直连传动,阀位重复定位精度高,全开通流截面积大、气流阻力极低、极限大流量导通。阀腔无内置紧固件,不易积尘释气,满足半导体、光伏、镀膜无尘制程标准。
模块化密封结构,更换密封圈无需整阀拆下管路,维保工时大幅缩减;立式、卧式任意方向均可安装。
超大扭矩伺服驱动,200A 大口径在大气压 / 高真空压差工况无需提前泄压即可直接开关阀门。
应用场景
整线连续光学镀膜总进气主控、半导体厂区真空总管压力调节、大型锂电连续式真空烧结炉负压主管、工业真空钎焊炉、航天科研大型真空腔体稳压节流。
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