产品名称：HORIBA 堀场 化学浓度分析仪

HORIBA 堀场 化学浓度分析仪 CS-900

HORIBA 堀场 化学浓度分析仪 CS-900

规格参数

设备采用紫外可见吸收光谱测量原理，为浸入式检测结构，可直接置于药液管路或槽体内使用。能够兼容氢氟酸、盐酸、过氧化氢、氨水、磷酸、硝酸、四甲基氢氧化铵等多种半导体工艺药液，测量精度稳定，响应速度快。整机体积小巧，布局合理，占用安装空间小，供电适配工业常用电源规格，整体功耗偏低。配备标准通讯与模拟输出接口，可轻松接入现场控制系统。接液部分采用耐酸碱腐蚀材质，长期接触强腐蚀液不易损坏，整机经过多项行业认证，符合半导体车间使用规范。

核心性能特点

采用成熟的浸入式检测设计，信号采集直接精准，能够实时捕捉药液浓度的细微变化。光谱检测技术无需额外添加化学试剂，使用过程不会产生二次污染。接液材质耐腐蚀性优异，可长期应对各类强腐蚀工艺药液，设备整体抗干扰能力强，在复杂工况下也能保持检测数据稳定。机身结构简单扎实，零部件故障率低，日常仅需定期清洁探头、简单校准即可，维护流程简易。设备兼容性出色，可搭配多种工艺设备使用，集成难度低，适配不同规模的生产线。

主要应用用途

广泛应用于半导体晶圆清洗、蚀刻、表面处理等湿法工序，在线监测各类工艺药液的实时浓度，协助工作人员把控工艺参数。可安装在清洗槽、蚀刻槽以及循环管路中，为药液配比、废液更换提供精准数据参考。同时也可用于电子化工、精密制造等相关行业的药液浓度检测，凭借稳定的性能与高性价比，成为中小产线及工艺研发环节常用的浓度分析设备。