产品名称：ULVAC 爱发科 防腐排粉型无油真空单元

ULVAC 爱发科 防腐排粉型无油真空单元 Model:MS Model:MS

ULVAC 爱发科 防腐排粉型无油真空单元 Model:MS Model:MS

ULVAC 爱发科 Model:MS 系列包含 MS120A、MS600A、MS1200A 三款标准机型，全系采用三相交流供电制式，支持 AC200-240V 与 AC380-480V 两种电压区间，适配全球主流工业供电标准。三款机型大排气速度区间覆盖 115m³/h 至 980m³/h，极限真空*低可达 0.1Pa，可匹配不同产能产线抽气需求。设备统一配置水冷循环散热结构，标准冷却水流量需求不低于 4.0L/min，吹扫气体流量调节范围 0-50SLM，单台设备大水蒸气处理量 1.5kg/h，可应对高水汽析出工艺。密封组件提供 FKM 氟橡胶、FFKM 全氟橡胶两种材质选型，适配不同腐蚀性介质工况；吸气端口分 KF 标准快拆法兰、ISO-F 大型法兰两类规格，满足小型实验室设备与大型工业炉体管路对接需求，整机运行噪音控制在 61 至 64dB (A) 区间，适配密闭生产车间环境使用。

Model:MS 依托双螺杆反向啮合干式结构实现真空抽气，摒弃油润滑介质，依靠转子与腔体微米级精密间隙完成气体密封，从源头消除润滑油返流污染腔体的问题。转子轴、气缸内腔全部采用特种复合防腐涂层处理，能够抵御酸碱、卤素等蚀刻工艺腐蚀介质长期侵蚀，延长核心转动部件使用周期。螺杆采用品牌专属大间隙螺旋型线设计，粉尘、细微颗粒可随气流顺畅排出泵体，降低颗粒物堆积造成的卡滞故障概率。设备搭载水冷、气冷复合散热腔体，长时连续运行工况下可稳定控制泵体温升，搭配内置静音消音腔体优化气流噪声；两端配置多重轴向密封结构，阻断腐蚀性介质向内渗透。整机采用模块化分体布局，泵体检修、密封件更换无需整体拆解，简化日常运维操作；全压力区间连续运行架构无需搭配前级预抽泵，简化真空系统整体管路配置，降低配套辅机搭建复杂度。

Model:MS 针对存在腐蚀气体、粉体析出、高水汽释放的工业真空制程开发，覆盖多领域标准化产线真空排气系统搭建。半导体与微电子制造领域，可配套晶圆刻蚀、等离子去胶、等离子清洗设备，无油洁净输出保障芯片制程腔体洁净度，防腐结构适配蚀刻酸性工艺尾气处理。新能源锂电池生产环节，适配电极材料真空烘烤、浆料脱泡、电芯注液真空工位，耐受电解液挥发腐蚀性介质，大间隙螺杆结构可排出极片研磨细微粉料。工业热处理场景中，用于烧结炉、渗碳炉等高温炉体真空抽气，全域连续运行特性匹配炉体循环升降真空流程。生物医药与食品加工行业，配套冷冻干燥、物料真空干燥设备，稳定可控真空环境保护物料原有理化特性；同时适配通用粉体加工、真空脱泡、小型镀膜等低中真空工艺，标准化法兰接口可兼容各类自动化设备真空管路集成。