产品名称：KOFLOC小岛 紧凑型数字质量

KOFLOC小岛 紧凑型数字质量 EX-201S

KOFLOC小岛 紧凑型数字质量 EX-201S

产品基础规格详情

EX-201S 整机采用一体式流体与电控集成结构，机身外形尺寸 76mm×30mm×80mm，整体自重轻便，可直接嵌入各类紧凑型工艺设备机柜内部，流体通路主体选用不锈钢材质，搭配标准卡套管路接头，可适配多种常规外径真空、工艺管路对接需求。设备搭载热式绕线型流量传感器，以氮气为标准介质划分完整量程区间，覆盖 10SCCM 至 10SLPM 多档标准规格，流量可控区间为满量程 2% 至 100%，全量程瞬时流量控制精度可达 ±1% SP，低流量区间附加 0.35% FS 基础精度补偿，流量重复性稳定维持 ±0.5% FS 以内，压力信号响应全程不超过 1 秒，流量调节波动幅度极小。整机采用 DC24V 单一直流供电，适配工业设备通用配电模组，信号输出配置双模式可选，模拟通道支持 0-5V 电压、4-20mA 电流两种规格，数字通讯搭载 RS485 Modbus-RTU 协议，机身配备双路 RJ45 网口，依靠普通网线即可实现多台控制器串联通讯，同时预留 Dsub9 针接口用于本地参数调试。设备内置 8 类常规气体换算程序，包含空气、氢气、氦气、氩气、氧气、二氧化碳、甲烷等介质，未收录气体可通过软件输入转换系数完成校准适配，内置电磁比例常闭阀，断电状态自动切断气路，规避介质泄漏风险。运行环境适配 10℃至 40℃室内恒温工况，环境湿度 15%-80% 无凝露，整机符合 CE 电气**标准与 RoHS 环保材料规范，出厂配套调试软件、连接线缆、管路紧固配件，流体通道采用模块化拆分设计，便于后期清洁与耗材更换。
产品核心功能与结构特点
EX-201S 围绕小型设备集成安装、多设备集中自动化管控、多工艺气体通用适配三大核心需求完成结构与算法优化，解决传统流量控制器体积偏大、通讯布线繁琐、气体适配单一、响应滞后的使用短板。紧凑型机身架构是设备核心设计优势，厂家重新优化流体管路与电控板布局，相比传统同量程 MFC 缩减近 40% 安装占地，针对半导体机台、分析仪器、小型镀膜设备内部紧凑空间可直接装配，无需额外预留大型安装工位，设备可横向、竖向多方向固定，不限制装配角度。改良型热式绕线传感单元搭配专属 PID 数字控制算法，缩短流量信号采集与阀门调节间隔，压力波动、供气扰动场景下可快速修正阀门开度，稳定维持设定流量数值，全程无明显超调、震荡现象，长时间连续运行无基线漂移问题，减少定期重新校准频次。多气体内置换算功能简化现场调试流程，操作人员无需额外外接换算模块，通过配套软件或上位系统即可一键切换气体种类，设备自动匹配对应流量转换系数，兼顾单一设备多工艺切换、多台设备混用不同介质的产线需求。双 RJ45 串联通讯结构简化车间布线，多台控制器仅用单根网线首尾串联即可接入中控系统，省去每台设备单独铺设通讯线缆的工序，Modbus 数字协议支持上位机批量读取实时流量、累计流量、设备故障状态、阀门开度等全部参数，模拟信号通道可对接无纸记录仪，留存长期工艺流量曲线。常闭型电磁执行阀具备断电自动关断特性，设备停机、供电异常时快速切断气路，降低工艺气体外泄隐患；配套免费调试软件支持在线修改设备满量程范围、上下限报警阈值、通讯地址、气体参数等内容，无需拆卸设备管路即可完成参数调整，流体通路模块化拆分结构，可单独拆解清洁内部管路粉尘、微量工艺挥发物，延长整机使用寿命。