产品名称：KOFLOC小岛 全金属PI型数字质量

KOFLOC小岛 全金属PI型数字质量 ST-500

KOFLOC小岛 全金属PI型数字质量 ST-500

产品基础规格详情

ST-500 整机采用一体式电控与流体集成机身，流体基座选用 SUS316L 不锈钢材质，内部通路做 EP 镜面抛光与抗氧化覆膜处理，搭配金属隔膜密封阀，无弹性橡胶密封件，适配洁净及轻度腐蚀工艺气体长期流通。以氮气为基准介质划分完整流量规格，覆盖 10SCCM 至 30SLPM 多档量程，有效可控区间为满量程 2% 至 100%，10% 至 100% 满量程区间控制精度可达 ±1% SP，2% 至 10% 低流量区间精度优化至 ±0.1% FS，流量重复性稳定维持 ±0.2% FS，全工况信号响应时间不超过 1 秒。设备配套 PI 压力补偿模块，内置独立前置压力传感器，工作压差适配 50 至 300kPa 区间，大允许入口工作压力 300kPa（表压），整机耐压上限 1MPa，外部氦气泄漏率低于 1×10⁻¹¹Pa・m³/s，满足高洁净真空工艺密封标准。供电规格适配标准工业直流供电，机身正面集成数字显示操作面板，可本地读取实时流量、设备状态、压力数值；通讯接口支持 EtherCAT、DeviceNet 工业总线协议，同时兼容模拟电压、电流信号输出，管路接口可选 IGS W 密封接头、1/4 英寸 VCR 卡套接头两种标准规格，适配气体面板集成、设备内嵌两种安装方式。设备精度保障环境温度区间 15℃至 40℃，常规运行环境适配 5℃至 50℃，环境湿度维持 0 至 80% RH 且无凝露，整机自重约 1kg，电气结构符合 CE 规范，出厂配套专用调试软件、连接线缆与安装固定配件，内部传感、阀体、通讯模块均采用独立模块化拆分设计。
产品核心功能与结构特点
ST-500 围绕压力波动工况稳定供气、腐蚀气体适配、产线自动化集中管控三大核心需求完成结构与算法优化，解决传统流量控制器压力扰动漂移、橡胶密封不耐腐蚀、低流量精度差、通讯布线单一的使用短板。PI 压力自适应补偿系统是设备核心差异化优势，区别于常规 MFC 仅依靠流量闭环调节，本机在流体入口搭载独立压力采集单元，实时捕捉供气端压力升降变化，提前预判流量波动趋势并同步修正电磁阀开度，即便管路压力出现瞬时起伏，输出流量数值仍可维持平稳，大幅降低压力扰动带来的工艺参数偏差，适配频繁启停泵组、多路气体切换的复杂供气工况。全金属隔膜密封阀体取消氟橡胶、丁腈橡胶等有机密封件，依靠金属面贴合实现气密隔离，搭配 EP 镜面抛光流道，可长期流通含卤素、微量酸性的腐蚀工艺气体，不会出现密封件溶胀、脱落污染腔体的问题，适配半导体蚀刻、薄膜沉积等特殊制程介质使用。改良型热式绕线流量传感单元搭配专属数字 PID 调节算法，缩短信号采集与阀门调节间隔，高低流量区间均无超调、震荡现象，配套原厂调试软件可在 30% 至 100% 满量程范围内切换有效工作量程，单台设备可适配多段工艺流量需求，无需更换硬件规格，降低设备备货种类。机身集成一体式数显操作屏，脱离上位控制系统也可完成流量设定、参数查看、故障复位等基础操作，便于车间现场巡检调试；多类型工业总线通讯支持多台设备组网串联，中控系统可批量读取实时流量、累计流量、压力数据、设备故障报警信息，模拟信号通道可对接无纸记录仪长期留存工艺曲线。内置常闭型电磁比例阀，设备断电、供电故障时自动切断气路，规避工艺气体外泄隐患，整机流体通路采用分层模块化结构，后期清洁、阀体耗材更换无需拆解电控主板，单人即可完成基础维护作业，延长整机连续运行周期。