产品名称：真空吸笔FLUORO 福乐 C001‑X‑96‑CP

6 寸晶圆专用｜C001‑X‑96‑CP FLUORO 福乐防静电真空吸笔

6 寸晶圆专用｜C001‑X‑96‑CP FLUORO 福乐防静电真空吸笔

1、产品规格详情

C001‑X‑96‑CP 属于 FLUORO 福乐 C 系列手持真空拾取工具，整套由 C001‑X 万向旋转笔身与 96‑CP X 型四爪导电吸头组合而成。阀门采用 NC 常闭结构，按压开启吸附，松开即刻释放工件，整体长度 245mm，整机重量约 23g，长时间手持作业不易产生手部负担。笔身采用碳纤维增强导电尼龙，吸头选用导电 PEEK 材料，整体电阻率维持在 10⁶‑10⁸Ω 区间，构建完整静电泄放通路。阀体内部腔面做镜面抛光处理，降低微颗粒滞留，笔身与吸头支持拆分拆装，便于现场清洁维护。设备需要外接负压气源使用，适配 6 英寸规格晶圆及同等尺寸薄片基材，适配高等级洁净工作台的作业条件。

2、核心功能特点

该款真空吸笔围绕大尺寸薄片工件的无损拾取开展结构设计，X 型四爪的吸头结构可以分散吸附受力，多点均匀接触工件表面，缓解大尺寸薄片容易出现的形变、崩边等状况，对于存在轻微翘曲的工件同样可以实现稳定承接。球状万向旋转接头能够实现多角度方位调节，不受工位空间角度约束，方便操作人员完成对位、拾取、转运整套动作。常闭按压阀组响应平顺，负压不会出现瞬时冲击，降低工件滑移、表面压痕风险。整机全通路防静电构造，可疏导操作过程产生的静电，规避静电对器件电路层造成损伤，满足 ESD 管控使用条件。内部流道光滑，微粒析出水平低，适配洁净环境使用，拆装步骤简单，日常清洁、部件更换均可现场完成，维持工具长期稳定工作状态。

3、主要适用用途

本款真空吸笔主要用于各类洁净环境下 6 英寸规格薄片工件的手工取放与移位操作。半导体相关工序中，可用于硅晶圆的样品抽检、工艺前后转运、手工对位作业，适配产线工位、研发实验室的手工处理流程。光学领域可用来完成蓝宝石基板、大尺寸光学玻璃、光学滤光片的拾取搬运，减少人手直接接触工件带来的污染问题。研发测试场景下，可对各类大尺寸薄型试样进行转运换位，辅助样品检测、试样分拣等工作。工具适用于对颗粒管控、静电防护要求较高的工况，多用于非自动化的手工精细化操作，不适合带腐蚀性液体的作业环境，仅可在干燥洁净条件下开展物料处理工作。