产品名称：FLUORO 福乐C002-Y-99-CP稳固拾取真空吸笔

12 寸大晶圆固定式拾取｜FLUORO 福乐 C002‑Y‑99‑CP 真空吸笔

12 寸大晶圆固定式拾取｜FLUORO 福乐 C002‑Y‑99‑CP 真空吸笔

1、产品规格详情

C002‑Y‑99‑CP 属于 FLUORO 福乐 C 系列手持真空拾取工具，整套由 C002‑Y 加长刚性笔身与 99‑CP 超宽幅梳齿导电吸嘴组合装配而成。产品采用 NC 常闭阀体结构，按压按钮完成真空导通，松开按键切断负压释放工件，整机长度 300mm，整机重量约 31g，加长杆体适配腔体、载台等深度作业工位，长时间握持操作负担可控。笔身选用碳纤维增强导电尼龙，吸嘴采用导电 PEEK 材质，电阻率维持在 10⁶‑10⁸Ω 区间，构建完整静电泄放通路，满足静电防护工况要求。阀体内部腔面经过镜面抛光处理，降低微粒滞留堆积，笔身与吸嘴支持拆分拆卸，便于现场开展清洁维护以及耗材更换。工具需要外接负压气源配套使用，无需配置正压回路，适配 12 英寸硅晶圆、碳化硅大基板以及同等规格大尺寸薄片基材，可适配高等级洁净工作台，仅可在干燥无腐蚀工况条件下开展作业。

2、核心功能特点

这款真空吸笔采用 Y 型刚性固定接头，无万向旋转结构，连接结构稳固，作业角度保持固定，适合标准化垂直对位拾取工序，加长杆体可以伸入深度受限的设备腔体内部完成物料取放。99‑CP 超宽幅梳齿吸嘴拥有大面积支撑接触区域，多点分散吸附受力，改善大尺寸整片晶圆容易翘曲变形、边缘崩损的状况，提升大重量薄片工件拾取过程的整体稳定性。常闭按压阀组运行平顺，负压输出不存在瞬时冲击，降低工件表面压痕、滑移脱落的发生概率。整机全通路防静电构造，疏导作业过程当中产生的静电，规避静电对半导体、光电器件造成损伤，满足 ESD 管控相关使用条件。内部流道光滑，微粒析出水平低，符合无尘车间颗粒管控标准。部件拆装无需专用工具，现场就可以完成拆分清洁与吸嘴更换，便于长期维持工具洁净度与整机工作性能。

3、主要适用用途

该真空吸笔多用于洁净环境下 12 英寸大规格整片工件的长距离垂直手工取放转运工作。半导体作业场景下，可用于 12 英寸硅晶圆、碳化硅整片基板的外观检测、工艺前后转运、样品抽检工序，适配探针台、设备腔体这类深度工位，服务研发实验室以及产线辅助手工工位。光电陶瓷领域，可完成大尺寸陶瓷基板、大规格镀膜光学基板的拾取移位，规避人手直接触碰工件带来的表面污染。材料测试环节，适配各类超大尺寸薄型试样的换位搬运，配合检测设备完成样品上下料作业。工具适合静电管控、颗粒管控要求较高的标准化手工操作工况，刚性加长直杆结构对腔体内部作业适配性较好，仅支持干燥洁净条件使用，不可以接触腐蚀性化学介质，承担非自动化的人工物料处理工作。