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  • 产品名称：INTECS英泰克斯UIH-3D光斑高功率卤素照明

  • 产品型号：高斯摩UIH-3D
  • 产品厂商：INTECS 英泰克斯
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简单介绍：
内置强制风冷与 130℃超温保护，关机后风扇持续散热保护光源，整机约 13kg。超大圆形光斑，适合大尺寸晶圆、掩膜板、光学基板大面积划痕、脏污、气泡、雾度目视检测。
详情介绍：

INTECS英泰克斯UIH-3D光斑高功率卤素照明

INTECS英泰克斯UIH-3D光斑高功率卤素照明




INTECS 英泰克斯 UIH-3D 为 UIH 系列顶配大功率聚光卤素照明装置，搭载 100V 650W 卤素灯泡，270mm 标准工作距离下光斑 φ100mm，中心照度 300000lx，50 万勒克斯区域可达 φ80mm。SCR 可控硅调光，调光比大于 10:1，50/60Hz 电网自动适配。内置强制风冷与 130℃超温保护，关机后风扇持续散热保护光源，整机约 13kg。超大圆形光斑，适合大尺寸晶圆、掩膜板、光学基板大面积划痕、脏污、气泡、雾度目视检测。

产品详情介绍

一、光源与光学规格

UIH-3D 配置 100V 650W 卤素光源，标准照射距离 270mm，光斑直径 φ100mm，光斑中心照度 300000lx；500000lx 照度覆盖 φ80mm；560mm 远距离照射照度约 75000lx。亮度偏差上限 10%、下限 20%，SCR 可控硅相位调光，调光倍率 10:1 以上，电源频率 50/60Hz 自动切换。灯泡寿命分两档：峰值满亮度工况 75 小时以上，半亮度长时间使用可达 1800 小时以上，降低亮度可大幅延长灯泡使用寿命，减少维护频次。

二、散热、供电与操作特性

灯室搭载风扇强制风冷，内置温度监测，灯腔温度超过约 130℃会强制熄灯，防止过热损坏内部光学组件。设备关闭主电源后，冷却风扇持续运转，直至灯室温度下降，保护卤素灯泡。供电采用 AC100V 半变压器式电源，整机重量约 13kg。配套独立控制单元，面板配备亮度调节旋钮、电源开关与状态指示灯，手动调节光照强度。无数字通讯接口，专注人工目视缺陷观测。

三、结构与使用环境

UIH-3D 一体式光源箱，可安装在检测支架、工装平台。同系列 UIH-1C 为小光斑 150W 版本，UIH-2D 为 300W 中光斑型号，UIH-3D 功率*大、照射光斑尺寸*大。大功率聚光产生廷德尔散射效应，大面积照射下快速检出样品表面微小划痕、粉尘、内部气泡与雾度缺陷。适用于大尺寸半导体抛光晶圆、掩膜板、大型光学镜片、液晶基板外观质检。广泛应用于精密材料实验室、产线目视筛选。选型参考：中小区域检查选用 UIH-1C；中等面积目视检测选用 UIH-2D；大尺寸基板大面积检测选用 UIH-3D。


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