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  • 产品名称：INTECS 英泰克斯UIH-3D卤素检查照明装置

  • 产品型号：高斯摩UIH-3D
  • 产品厂商：INTECS 英泰克斯
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简单介绍：
SCR 可控硅调光，调光倍率大于 10:1，自动适配 50/60Hz 电网。带强制风冷与 130℃超温熄灯保护，关机延时散热保护光源，整机重量约 13kg。适合大尺寸抛光晶圆、掩膜板、光学基板大面积表面脏污、划痕、气泡、雾度目视检测。
详情介绍：

INTECS 英泰克斯UIH-3D卤素检查照明装置

INTECS 英泰克斯UIH-3D卤素检查照明装置




产品详情介绍

一、光源与光学规格

UIH-3D 采用 100V 650W 大功率卤素灯，270mm 工作距离下光斑 φ100mm，中心照度 300000lx；560mm 距离照度约 75000lx，50 万勒克斯覆盖 φ80mm 范围。亮度偏差上限 10%、下限 20%，SCR 相位调光，亮度调节区间大于 10 倍，50/60Hz 电源频率自动切换。灯泡寿命分档位，满亮度运行 75 小时以上，半亮度工况可达 1800 小时，降低亮度可显著延长灯泡维护周期。

二、散热、供电与操作特性

灯腔搭载强制风冷系统，内置温度监测，灯室温度超过 130℃自动熄灯，避免高温损坏内部光学零件。电源关闭后风扇持续冷却，保护卤素灯泡。供电为 AC100V 半变压器型，整机约 13kg。配套独立控制单元，旋钮调节光照强度，配备电源与工作指示灯，操作直观，无数字通讯输出，面向人工目视检测场景。

三、结构与使用环境

UIH-3D 光源箱体可安装在支架、检测工装，方便调整照射位置。同系列 UIH-1C 为 150W 小光斑型号，UIH-2D 为 300W 中光斑型号，UIH-3D 为本系列功率*大、照射范围*广机型。聚光强光产生廷德尔散射，大面积照射下，微小划痕、粉尘、内部气泡、基材雾度均可直观显现。适用样品：大尺寸半导体抛光晶圆、掩膜板、大型光学镜片、液晶基板。广泛用于材料研发实验室、元器件产线外观筛选。选型参考：小面积目视检查选用 UIH-1C；中等面积检测选用 UIH-2D；大尺寸基板大面积目视检验选用 UIH-3D。


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