产品名称：ULVAC 爱发科CRYO-U8HSP低温真空泵

ULVAC 爱发科 CRYO-U8HSP 低温真空泵

ULVAC 爱发科 CRYO-U8HSP 低温真空泵

产品详情介绍

一、工作原理与结构组成

CRYO-U8HSP 属于蓄积式低温泵，核心部件为二段式 GM 闭循环氦制冷机。冷头冷却至 80K 以内，配套屏蔽筒与挡板，阻隔室温辐射热，优先冷凝水汽、二氧化碳等易凝气体，降低热负荷向二级冷头传递。二级冷头可降至 10~12K，搭载冷凝面板以及吸附面板，吸附板负载多孔吸附材料，专门捕获氢气这类不易冷凝的轻质气体。泵腔内部不存在旋转、摩擦类机械结构，运行过程不引入真空油，不会出现油蒸汽返流污染真空腔体的情况。气体分子持续附着在低温面板表面，腔体内部压力逐步下降，实现高真空工况。作为蓄积式泵体，气体吸附量会随运行时长逐步饱和，需要执行升温再生流程，释放捕捉的气体，恢复排气能力。该型号采用扁平紧凑外形设计，相比同口径其他机型，占用高度空间更小，方便真空机组整体小型化集成。进气法兰标配 UVG-200 规格，整机由制冷冷头、低温面板组件、泵壳体、法兰接口、测温元件与阀组构成，结构布局稳定，便于在腔体上方直接安装布置。

二、排气性能参数与运行指标

在 20℃标准测试条件下，该泵对水的排气速度为 4000L/s，氮气 1500L/s，氢气 2200L/s，氩气 1200L/s，极限压力可达 10⁻⁷Pa 级别。氩气*大处理流量 1.2×10³Pa・L/s，氢气*大处理流量 1.6×10²Pa・L/s；氩气总排气容量 1.6×10⁸Pa・L，氢气排气容量 1.2×10⁶Pa・L。降温时间在 50Hz 工况约 110 分钟，60Hz 工况约 100 分钟。支持一拖三配置，单台 C10 系列压缩机可同时供给三台 CRYO-U8HL 运行，适合多腔体同步布局的产线。该型号重点优化氩气储存容量，适合氩气工艺占比偏高的工况。储存式结构本身不适合长时间持续通入大流量气体，持续大负荷运行会加快吸附面板饱和，缩短再生间隔，增加运维频次。设备运行振动水平较低，对薄膜沉积、精密检测类工艺带来的扰动有限，参数匹配中型溅射设备、光学镀膜腔体、实验室超高真空装置的常规间歇工艺负荷。选型阶段需要区分工艺是连续进气还是间歇式进气，结合腔体容积、材料放气速率评估再生周期。

三、适用场景、运维要点与适配方案

该机型主要应用在半导体溅射、光学薄膜制备、真空蒸镀、表面分析设备、科研真空实验等对真空洁净度有要求的领域，扁平结构尤其适合设备高度受限的安装工位。设备启动前必须搭配粗抽机组预抽，将腔体压力降至低温泵允许启动区间后，再开启制冷流程，避免高压气体直接冲击低温面板，造成制冷负荷异常。日常运维的核心是再生管理，再生周期由工艺内水汽、氩气、氢气通入量共同决定，再生时升温脱附气体，抽除完成后重新降温进入待机状态，可搭配自控组件实现程序化再生操作。安装阶段法兰以 UVG-200 为标准，可增加转接法兰适配其他真空接口标准，适配不同品牌腔体。制冷机常规维护周期参考约 16000 小时，需要定期检查氦回路密封性、密封件老化状态，保障制冷效率稳定。选型计算时，需要同步匹配抽速合适的粗抽泵组，控制单次进气量不超过泵体允许上限，避免冷面板温度异常上升，保护吸附材料与制冷机。一拖三多泵并联布置时，需要统筹压缩机管路长度、散热条件以及同步降温时序，防止多泵同时启动造成制冷功率分配不足，影响各泵降温速度与排气稳定性。