产品名称：ULVAC 爱发科 CRYO-U12HL 低温真空泵

ULVAC 爱发科 CRYO-U12HL 低温真空泵

ULVAC 爱发科 CRYO-U12HL 低温真空泵

产品详情介绍

一、工作原理与结构组成

CRYO-U12HL 属于蓄积式低温泵，核心配置二段式 GM 闭循环氦制冷机。**冷头冷却至 80K 以内，搭配屏蔽筒与挡板，阻挡腔体侧辐射热，优先冷凝水汽、二氧化碳等易凝气体，降低热负荷传导至二级冷头，保障低温面板工况稳定。二级冷头可降至 10~12K，配备冷凝面板与多孔吸附面板，吸附介质用于捕获氢气这类难以冷凝的轻质气体。泵腔内部不存在旋转、摩擦类机械结构，运行全程不使用真空油，规避油蒸汽返流污染腔体，维持真空环境洁净。气体分子持续在低温面板表面冷凝、吸附，腔体压力逐步下降，形成高真空环境。作为蓄积式泵体，气体吸附量累积至饱和后，需要执行升温再生流程，脱附并抽除捕获气体，恢复排气能力。该型号重点优化高度方向尺寸，采用扁平紧凑外形，相比标准 U12H 竖向高度更小，适合设备上部空间受限的工位。进气法兰可选 UVG-300、10B ANSI 两种规格，整机由制冷冷头、低温面板组件、泵壳体、法兰接口、测温元件、阀组构成，结构稳定，便于在大型镀膜腔体上方集成安装。

二、排气性能参数与运行指标

在 20℃标准测试条件下，该泵对水的排气速度 9500L/s，氮气 4000L/s，氢气 6800L/s，氩气 3300L/s，极限压力可达 10⁻⁷Pa 级别。氩气*大处理流量 2.0×10³Pa・L/s，氢气*大处理流量 4.1×10²Pa・L/s；氩气总排气容量 3.1×10⁸Pa・L，氢气排气容量 9.8×10⁵Pa・L，氩气储存容量优于同口径标准款 U12H。降温时间 50Hz 工况约 90 分钟，60Hz 工况约 80 分钟。可搭配对应压缩机，适配多腔体布局方案。该型号氢气抽速突出，适合氢气参与的工艺，大容量氩气储存结构能够拉长再生周期。储存式结构本身不适用于长时间持续通入大流量气体，持续高负荷进气会加速面板饱和，缩短再生间隔，增加运维频次。设备运行振动水平较低，对薄膜沉积均匀性干扰有限，选型时需要区分间歇工艺与连续进气工况，结合腔体容积、材料放气速率、工艺气体通入量核算再生周期，匹配对应的工艺负荷。

三、适用场景、运维要点与适配方案

该机型适配半导体溅射、光学薄膜制备、真空蒸镀、FPD 制程、表面分析装置、科研真空实验等对真空洁净度要求较高的领域，扁平低矮结构尤其适合整机高度受限、追求设备小型化的真空产线。设备启动前必须搭配粗抽机组预抽，将腔体压力降至低温泵允许启动区间后，再开启制冷流程，避免高压气体冲击低温面板，造成热负荷超标，损伤吸附材料。日常运维核心为再生管理，再生周期主要受工艺水汽、氩气、氢气通入量影响，再生阶段升温脱附气体，由粗抽机组抽除，完成后重新降温待机，可搭配自控组件实现程序化再生操作。法兰支持 UVG-300 与 10B ANSI，可加装转接法兰适配其他真空接口标准。制冷机常规维护周期参考约 16000 小时，需要定期检查氦回路密封性、密封件老化状态，维持制冷效率稳定。选型计算时，需要匹配抽速合适的粗抽泵组，控制单次进气量不超过泵体允许上限，防止冷面板温度异常抬升，保护吸附材料与制冷机。多泵并联布置时，需要统筹压缩机管路长度、散热条件以及降温时序，避免多泵同步启动带来制冷功率分配不足，影响各泵降温速度与排气稳定性。产线改造替换时，可根据现场法兰标准选择转接结构，适配原有腔体改造需求。